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带电清洗起源于二十世纪三十年代。从开始的物理清洗发展的化学清洗,在五十年代,化学带电清洗技术所使用的清洗剂以 F (氟)、 CL (氯) 为主的 二氯甲烷、三、四氯乙烯、、 CFC-113 (氟里昂)等化学 制剂。六十年代,逐步淘汰毒性较大的 F 、 CL 制品。直到八十年代以后,美国的一些化工研究机构研究出了以 HCFC- 141b 化工原料为主要成分的带电清洗用剂,以后这种类型的清洗剂被市场认可并采用。
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